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HTCC高温空气箱式烧结炉
HTCC高温空气箱式烧结炉

用于静电卡盘、HTCC 基板、管壳、SMD 等陶瓷资料在氮气+氢气(干/湿)空气下的排胶烧结工艺及新品工艺尝试

选件:
静电卡盘HTCC基板HTCC管壳SMD 高温多元空气露点加湿
产品特点

1.管内空气温度及露点可控 ,干湿气路切换 ,由气路节造架、加湿箱及各类保温进气管路组成 ,排气口设计有胶油回收装置以及尾气处置装置 ;

2.每路进气均选取一备一用系统 ,有效保险设备使用的空气 ;

3.加湿箱分为假烧、本烧、预备加湿箱 ,通过进口露点仪精准节造每路进气的露点 ,精确达到到±1℃ ;

4.炉膛选取人字形沉质刚玉莫来石 ,炉膛内钼丝悬挂于炉膛周围 ,精准控温。

产品详情
系列 炉膛容积 最高温度 氧含量 压力检测 加热元件 空气
HXL 250L 1700℃ 10ppm 炉压反馈 钼丝 H2+N2(干/湿混合气比例可调)
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